Pivotal Systems Corp 为半导体行业提供气体流量监测和控制技术平台。其产品包括气体流量控制器、气体流量监控器和传感器 X。该公司推出了新的气体流量控制器 GFC-H-5L、GFC-H-20L 和 GFC-H -50L。其产品可实时监控和控制晶圆加工中难以控制的参数,包括气体流量和腔室状态。从地理上讲,它从亚洲地区创造了最大的收入。
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